Lithography مشين ماسڪ Aligner فوٽو-نڪري مشين

تفصيل

1. نمائش جو علائقو: 110mm × 110mm
2. ★ نمائش موج جي ڊيگهه: 365nm؛
3. قرارداد: ≤ 1m؛
4. ترتيب جي درستگي: 0.8m؛
5. ترتيب واري نظام جي اسڪيننگ ٽيبل جي حرڪت واري حد گهٽ ۾ گهٽ ملندي: Y: 10mm؛
6. ترتيب ڏيڻ واري نظام جي کاٻي ۽ ساڄي لائٽ ٽيوب الڳ الڳ منتقل ٿي سگهن ٿا X، y ۽ Z هدايتن ۾، X طرف: ± 5mm، Y طرف: ± 5mm ۽ Z طرف: ± 5mm؛
7. ماسڪ سائيز: 2.5 انچ، 3 انچ، 4 انچ، 5 انچ؛
8. نموني سائيز: ٽڪرا، 2 "، 3"، 4 "؛
9. ★ نموني جي ٿولهه لاء مناسب: 0.5-6mm، ۽ 20mm نموني جا ٽڪرا وڌ ۾ وڌ مدد ڪري سگھن ٿا (ترتيب ٿيل)؛
10. نمائش موڊ: ٽائيمنگ (ڳڻپ جو طريقو)؛
11. روشني جي غير برابري: 2.5٪؛
12. ٻٽي فيلڊ سي سي ڊي الائنمينٽ خوردبيني: زوم لينس (1-5 ڀيرا) + خوردبيني مقصد لينس؛
13. نموني سان واسطو رکندڙ ماسڪ جو حرڪت وارو اسٽرو گهٽ ۾ گهٽ ملندو: X: 5mm؛Y: 5mm؛: 6º
14. ★ نمائش توانائي جي کثافت: > 30MW / cm2،
15. ★ ترتيب واري پوزيشن ۽ نمائش واري پوزيشن ٻن اسٽيشنن ۾ ڪم ڪري ٿي، ۽ ٻه اسٽيشن سروو موٽر خودڪار طور تي سوئچ ڪري ٿو؛
16. ليولنگ ​​رابطي جو دٻاء سينسر ذريعي ريپٽيبلٽي کي يقيني بڻائي ٿو.
17. ★ ترتيب واري فرق ۽ نمائش جي فرق کي ڊجيٽل طور تي سيٽ ڪري سگهجي ٿو.
18. ★ اهو نانو امپرنٽ انٽرفيس ۽ قربت انٽرفيس آهي;
19. ★ ٽچ اسڪرين آپريشن؛
20. مجموعي طول و عرض: اٽڪل 1400mm (ڊگھائي) 900mm (چوڪر) 1500mm (اوچائي).