لٿوگرافي مشين ماسڪ الائنر فوٽو ايچنگ مشين

وضاحت

1. نمائش جو علائقو: 110mm × 110mm؛
2. ★ نمائش جي موج جي ڊيگهه: 365nm؛
3. ريزوليوشن: ≤ 1m؛
4. ترتيب جي درستگي: 0.8m؛
5. الائنمينٽ سسٽم جي اسڪيننگ ٽيبل جي حرڪت جي حد گهٽ ۾ گهٽ هن جي مطابق هوندي: Y: 10mm؛
6. الائنمينٽ سسٽم جا کاٻي ۽ ساڄي لائيٽ ٽيوب الڳ الڳ X، y ۽ Z طرفن ۾ منتقل ٿي سگهن ٿا، X طرف: ± 5mm، Y طرف: ± 5mm ۽ Z طرف: ± 5mm؛
7. ماسڪ جي سائيز: 2.5 انچ، 3 انچ، 4 انچ، 5 انچ؛
8. نموني جي ماپ: ٽڪرو، 2 "، 3"، 4 "؛
9. ★ نموني جي ٿولهه لاءِ مناسب: 0.5-6mm، ۽ وڌ ۾ وڌ 20mm نموني جي ٽڪرن کي سپورٽ ڪري سگھي ٿو (ڪسٽمائيز ٿيل)؛
10. نمائش موڊ: ٽائيمنگ (ڳڻپ موڊ)؛
11. روشني جي غير هڪجهڙائي: ＜ 2.5٪؛
12. ڊبل فيلڊ سي سي ڊي الائنمينٽ مائڪرو اسڪوپ: زوم لينس (1-5 ڀيرا) + مائڪرو اسڪوپ آبجيڪٽو لينس؛
13. نموني جي نسبت ماسڪ جي حرڪت واري اسٽروڪ گهٽ ۾ گهٽ ملن: X: 5mm؛ Y: 5mm؛ : 6º؛
14. ★ نمائش توانائي جي کثافت: > 30MW / cm2،
15. ★ ٻن اسٽيشنن ۾ الائنمينٽ پوزيشن ۽ ايڪسپوزر پوزيشن ڪم ڪري ٿي، ۽ ٻئي اسٽيشن سرو موٽر خودڪار طريقي سان سوئچ ڪري ٿي؛
16. رابطي جي دٻاءُ کي برابر ڪرڻ سينسر ذريعي ورجائڻ جي صلاحيت کي يقيني بڻائي ٿو؛
17. ★ الائنمينٽ گيپ ۽ ايڪسپوزر گيپ ڊجيٽل طور تي سيٽ ڪري سگھجي ٿو؛
18. ★ ان ۾ نانو امپرنٽ انٽرفيس ۽ پروڪسميٽي انٽرفيس آهي؛
19. ★ ٽچ اسڪرين آپريشن؛
20. مجموعي طول و عرض: اٽڪل 1400 ملي ميٽر (ڊيگهه) 900 ملي ميٽر (ويڪر) 1500 ملي ميٽر (اوچائي).