ليٿوگرافي مشين ماسڪ اڪنر فوٽو ايچنگ مشين

وضاحت

1. نمائش وارو علائقو: 110mm × 110 ايم ايم؛
2. ★ نمائش واري موج: 365nm؛
3. قرارداد: ≤ 1m؛
4. ترتيب جي درستگي: 0.8M؛
5. صفائي واري نظام جي اسڪيننگ جي ٽيبل جي حرڪت گهٽ ۾ گهٽ ملندي: Y: 10 ملي ايم
6. صفائي واري نظام جي کاٻي ۽ سا right ي روشني ٽيوب الڳ الڳ الڳ ٿي سگهي ٿي، ± ± 5 ايم ايم ۽ ± سمپ: ± 5mm طرف: ± 5mm هدايت: ± 5mm هدايت
7. ماسڪ سائيز: 2.5 انچ، 3 انچ، 4 انچ، 5 انچ؛
8. نمونو سائيز: ٽڪڙو، 2 "، 3"، 4 "؛
9. ★ نموني جي موتي لاء موزون: 0.5-6 ايم ايم، ۽ 20 ايم ايم پي نمونن جي هر ٽڪڙن جي حمايت ڪري سگهي ٿو (ڪسٽمائيز ٿيل)؛
10. نمائش وارو طريقو: ٽائيم (ڳڻپ ڊائون موڊ)؛
11. روشني جي غير مدي: <2.5٪؛
12. دوئي فيلڊ سي سي ڊي سي اين سي ڊي مائڪروسڪوپ: زوم لينس (1-5 دفعا) + خوردبيني مقصد لينس؛
13. نموني جي حرڪت جو فالٽ جي حرڪت گهٽ ۾ گهٽ ملن: x: 5 ملي ايم؛ Y: 5 ايم ايم؛ : 6º؛
14. ★ نمائش توانائي جي کثافت:> 30mw / cm2،
15. → ٻن اسٽيشنن ۾ صفائي واري پوزيشن ۽ نمائش واري پوزيشن جو ڪم، ۽ ٻه اسٽيشن سرو موٽر پاڻمرادو سوئچ ڪري ٿو.
16. ليولنگ ​​رابطي جو دٻاء سينسر ذريعي ٻيهر ورجائي ٿو.
17. ★ ترتيب واري گپ ۽ نمائش واري گپ ڊجيٽل طور مقرر ٿي سگهي ٿي؛
18. ★ ان کي نانو امپرنٽ انٽرفيس ۽ قربت جو انٽرنيٽ آهي؛
19. ★ ٽچ اسڪرين جو آپريشن؛
20. مجموعي طور تي طول و عرض: اٽڪل 1400 ايم ايم (ڊگھائي) 900 ايم ايم (چوٿون) 1500 ايم ايم (اوچائي).